原子力顯微鏡的重要部分是力敏感元件和力敏感元件檢測裝置。為了能準(zhǔn)確反映出樣品的表面形貌，力傳感器要滿足以下幾個(gè)要求：
①在針尖與樣品的接觸過程中，為了不使針尖損壞樣品，要求微懸臂有相對較低的力彈性常數(shù)，即受到很小的力就能產(chǎn)生可檢測的位移。
②為了降低一起對于噪聲的敏感性，并使其有較高的掃描速度，要求微懸臂有盡可能高的固有共振頻率(一般為200kHz~300kHz)。
③因?yàn)槲冶凵系尼樇馀c樣品的摩擦力會(huì)引起微懸臂的橫向彎曲，從而導(dǎo)致圖像失真，這就要求微懸臂要有高的橫向剛性，實(shí)際應(yīng)用中將微懸臂制成V字形就可提高其橫向剛性。
④如果采用隧道電流方式來檢測微懸臂的位移，微懸臂的背面要有金屬電極，若采用光學(xué)方法檢測，則要求微懸臂背面有盡可能光滑的反射面。
⑤如果采用光學(xué)反射方法檢測微懸臂位移時(shí)，如果微懸臂一端的線性平移量是一定的，那么臂長越短，微懸臂的彎曲度就越大，檢測的靈敏度就越好。
⑥帶有一個(gè)盡可能尖銳的針尖。AFM原子力顯微鏡的發(fā)展，也可以說是微懸臂和針尖不斷改進(jìn)的過程。一般原子力顯微鏡采用微機(jī)械加工技術(shù)制作的硅、氧化硅以及氮化硅微懸臂。