AFM全稱Atomic Force Microscope，即原子力顯微鏡，它是應(yīng)用范圍廣，可用于表面觀察、尺寸測定、表面粗糙測定、顆粒度解析、突起與凹坑的統(tǒng)計(jì)處理、成膜條件評(píng)價(jià)、保護(hù)層的尺寸臺(tái)階測定、層間絕緣膜的平整度評(píng)價(jià)、VCD涂層評(píng)價(jià)、定向薄膜的摩擦處理過程的評(píng)價(jià)、缺陷分析等。
做AFM原子力顯微鏡測試對(duì)樣品有以下幾點(diǎn)要求：
①對(duì)象可以是有機(jī)固體、聚合物以及生 物大分子等。
②樣品大小一般不超過 1cm，高度也應(yīng)控制在 1cm 以下，樣品表面起伏不超過 15μm。
③測試薄膜厚度應(yīng)控制在 15μm 以下。
這里要解釋一下為什么對(duì)樣品厚度有要求，因?yàn)槲覀円话悴捎幂p敲式，對(duì)于厚度較大的樣品或是很硬的樣品而言，針尖仍可能受損。