原子力顯微鏡電磁特性主要包括電流／皮安級電流、掃描擴展電阻顯微鏡（ssrm）、開爾文顯微鏡（KFM）、靜電力顯微鏡（EFM）、壓電響應(yīng)力顯微鏡（PRM）、磁力顯微鏡（MFM）。
電流／皮安級電流:偏壓條件下水平方向掃描樣品，測量探針和樣品之間的電流，觀察電流分布。
電流／皮安級電流
掃描擴展電阻顯微鏡（ssrm）:通過使用超導(dǎo)電性堅固懸臂，向樣品施加偏壓，測量與探針接觸位置的微電流，在廣域范圍內(nèi)樣品表面的局部電阻分布大于6階。充分覆蓋半導(dǎo)體摻雜濃度范圍。
掃描擴展電阻顯微鏡（ssrm）
開爾文顯微鏡（KFM）：通過在導(dǎo)電懸臂和樣品之間施加交流電，依據(jù)反饋通過反向加直流電壓使探針振幅為零，從而獲得樣品表面電位。包括：CC-KFM(循環(huán)接觸式KFM)、NC-KFM(非接觸式KFM)
開爾文顯微鏡（KFM）
靜電力顯微鏡（EFM）：在導(dǎo)電懸臂和樣品之間施加AC或DC電壓信號，并通過AC電壓形成靜電力分量（振幅分量和相分量）的圖像。包括：EFM(AC)···AC場響應(yīng)、EFM(DC)···DC場響應(yīng)、KFM可以直接測量樣品表面電位、EFM不能直接測量樣品表面電位，但它的響應(yīng)速度比KFM快，而且便于觀察樣品的電學(xué)特性。
靜電力顯微鏡（EFM）
壓電響應(yīng)力顯微鏡（PRM）：在探針和樣品之間施加AC電流，通過掃描樣品觀察樣品的應(yīng)變分布，測量出鐵電的應(yīng)變分量。
壓電響應(yīng)力顯微鏡（PRM）
磁力顯微鏡（MFM）：磁性探針和樣品之間產(chǎn)生磁力作用，隨著懸臂振動電位發(fā)生變化，形成樣品表面電位圖。真空環(huán)境下測試樣品時，可獲得高靈敏度、高分辨率的磁疇成像。