AFM原子力顯微鏡幾個(gè)常見問題以及解答介紹

 新聞資訊     |      2023-04-10 13:16:52

Q:測(cè)試2/3/4inch外延片三維表征形貌以及粗糙度的原子力顯微鏡?

A:原子力顯微鏡(探頭掃描式)FM-NanoviewLS-AFM。

Q:一整套包括什么?

A:AFM原子力顯微鏡主機(jī),控制器、防震箱、隔振臺(tái)、輕敲、接觸兩種模式的探針;免費(fèi)交機(jī)培訓(xùn)。有相應(yīng)的電腦和控制軟件控制掃描和繪圖。

Q:交貨期多久?

A:根據(jù)不同產(chǎn)品而定,有標(biāo)準(zhǔn)型,和定制化。定制化產(chǎn)品3個(gè)月。

原子力顯微鏡.jpg

Q:有多功能配置嗎?

A:可以增加晶圓應(yīng)力、翹曲度測(cè)試模塊;白光干涉檢測(cè)模塊;根據(jù)需求來定制多功能綜合性的儀器。

Q:關(guān)于x,y方向的分辨率,由于我們可能需要精確表征外延片的形貌,因此希望分辨率能夠達(dá)到原子量級(jí),但是沒有在任何測(cè)試報(bào)告中看到相應(yīng)的數(shù)據(jù)支撐?

A:好的,關(guān)于分辨率我這邊解釋一下.分辨率主要取決于控制器的采樣點(diǎn)以及系統(tǒng)噪音水平,一般各個(gè)廠家都是以橫向和縱向的系統(tǒng)噪音水平來代表分辨率水平??v向分辨率能夠達(dá)到0.05nm;至于XY方向,難度就比較大了,不僅取決于系統(tǒng)噪音和采樣點(diǎn);還跟探針針尖的尖銳程度有很大關(guān)系;一般來說,原子力顯微鏡的探針針尖半徑是在10nm左右,經(jīng)過特殊修飾的針尖半徑能夠達(dá)到1nm左右;因此實(shí)際上的橫向分辨率大致上也就是0.2nm這個(gè)水平;目前來說,能夠真正穩(wěn)定的做到掃原子圖像都是STM,而且大都在真空環(huán)境下??偟膩碚f,對(duì)我們儀器縱向分辨率0.05nm是完全沒有問題的,減震好的情況RMS值能達(dá)到0.02nm。0.2nm高度的原子臺(tái)階很容易測(cè)出來。橫向分辨率0.2nm主要是理論值,根據(jù)采樣點(diǎn)和RMS噪音算出來的,實(shí)際分辨率還取決于探針針尖半徑,一般測(cè)幾個(gè)nm的量子點(diǎn)沒有問題。另外,探針針尖半徑的大小對(duì)于XY橫向分辨率影響非常大,同樣的一個(gè)10nm級(jí)別的量子點(diǎn)樣品,用針尖半徑5nm,10nm,20nm的來測(cè)試效果是完全不一樣的,針尖越細(xì),量子點(diǎn)測(cè)的越小越清晰。針尖越粗,量子點(diǎn)測(cè)的就越大越模糊,甚至分辨不出來。

Q:探針一般提供或者推薦哪幾種選擇?

A:我們常規(guī)的標(biāo)配探針是10nm半徑的;也有7nm和20nm的選擇;探針的廠家也有很多種,都可以選;我們的原子力顯微鏡各個(gè)廠家的探針都能用。

Q:6800型和光學(xué)一體機(jī)的區(qū)別在哪里?還有一個(gè)小疑惑,這個(gè)光學(xué)顯微鏡一體式的,就是多一個(gè)金相顯微鏡嗎?

A:6800和1000型屬于基礎(chǔ)型AFM原子力顯微鏡,只有原子力基礎(chǔ)功能。其他品牌的原子力顯微鏡光學(xué)部分是定位用的,我們的光學(xué)原子力一體機(jī)光學(xué)部分是一臺(tái)金相顯微鏡,可以進(jìn)行金相組織分析。物鏡配置5X、10X、20X、50X,可以自由切換使用的,一般的AFM原子力顯微鏡沒有這個(gè)功能的,我們的50X物鏡大致可以分辨到600nm,然后可以無縫對(duì)接到AFM原子力顯微鏡,真正實(shí)現(xiàn)從微米到納米的跨尺度測(cè)量,復(fù)消色差成像的,具體超高清的顯微圖像。光學(xué)原子力是我們*有特色的產(chǎn)品,任何廠家的原子力都沒有這個(gè)功能的,包括布魯克,功率小于200瓦。

Q:飛時(shí)曼的afm噪音能到多少?

A:≤35pm。

Q:想測(cè)一種類似冰層的物質(zhì),溫度-15到15,耐壓,樣品大小表面4平方

厘米。

A:目前的描述就是測(cè)表面形貌粗糙度,然后就是環(huán)境控制型,冷熱一體臺(tái),需要力學(xué)測(cè)試。首先看樣品是小尺寸原子力顯微鏡,其次要給樣品制冷,必須得用我們頭掃描的模式。也就是需要一款小型的頭掃描的原子力顯微鏡。制冷臺(tái)我們也可以提供,然后還需要環(huán)境控制,環(huán)境控制我們也可以提供,如果你們自己有手套箱,那就可以放在自己手套箱里面工作也可以,如果沒有手套箱,我們提供環(huán)境控制的裝置。您是需要一款小型的頭掃描的帶環(huán)境控制的AFM原子力顯微鏡。