原子力顯微鏡是一種具有原子分辨率的表面形貌、電磁性能分析的重要儀器。
當(dāng)使用AFM原子力顯微鏡對(duì)樣品成像時(shí)，jian端與樣品接觸，樣品沿x-y網(wǎng)格進(jìn)行光柵掃描。常見的是，在掃描過(guò)程中使用電子反饋回路來(lái)保持探針樣品力常數(shù)。該反饋回路以懸臂偏轉(zhuǎn)為輸入，其輸出控制探針支架和樣品支架之間沿z軸的距離。只要*端與樣品保持接觸，并且樣品在x-y平面上掃描，樣品的高度變化將改變懸臂的偏轉(zhuǎn)。然后，反饋調(diào)節(jié)探頭支架的高度，使偏轉(zhuǎn)恢復(fù)到用戶定義的值(設(shè)定點(diǎn))。適當(dāng)調(diào)整的反饋回路在掃描運(yùn)動(dòng)期間連續(xù)調(diào)整支架-樣品分離，使得偏轉(zhuǎn)保持近似恒定。在這種情況下，反饋輸出等于樣品表面形貌，誤差很小。
原子力顯微鏡提供的一般流程如下：
1.記錄用戶定義的多個(gè)掃描位置
2.在**個(gè)掃描位置成像
3.提升懸臂
4.將電動(dòng)樣品臺(tái)移至下一個(gè)用戶定義坐標(biāo)
5.探針接近
6.重復(fù)掃描
記錄多個(gè)掃描位置十分簡(jiǎn)單，您可以輸入樣品-樣品臺(tái)坐標(biāo)或使用兩個(gè)參考點(diǎn)校正樣品位置。該自動(dòng)化功能大大減少您在掃描過(guò)程中需要的工作，極大提高了生產(chǎn)力。