AFM原子力顯微鏡的常見(jiàn)問(wèn)題之與傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡相比，原子力顯微鏡的分辨本領(lǐng)主要受什么因素限制?傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)受到光衍射極限的限制，其Z小分辨距離為其光波長(zhǎng)的一半。電子顯微鏡的分辨本領(lǐng)同樣受到衍射極限的限制，其Z小分辨本領(lǐng)為電子德布羅意波長(zhǎng)的一半，因此電子顯微鏡可以達(dá)到比傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡更高的分辨本領(lǐng)。
AFM原子力顯微鏡的分辨本領(lǐng)主要取決于：探針針尖的尺寸;微懸臂的彈性系數(shù)，彈性系數(shù)越低，原子力顯微鏡越靈敏;懸臂的長(zhǎng)度和激光光線的長(zhǎng)度之比;探測(cè)器PSD對(duì)光斑位置的靈敏度。對(duì)于分辨率一定的圖像，掃描范圍越小，獲得的表面形貌越精細(xì)。