要對(duì)懸臂的彎曲量進(jìn)行精確測(cè)量，除了在AFM原子力顯微鏡中使用光杠桿這個(gè)方法外，還有哪些方法可以達(dá)到相同數(shù)量級(jí)的測(cè)量精度?
對(duì)于懸臂彎曲的測(cè)量還可以采取電學(xué)方法，包括隧道電流法以及電容法。
隧道電流法根據(jù)隧道電流對(duì)電極間距離非常敏感的原理，將SIM用的針尖置于微懸臂的背面作為探測(cè)器，通過針尖與微懸臂間產(chǎn)生的隧道電流的變化就可以檢測(cè)由于原子間相互作用力令微懸臂產(chǎn)生的形變。
電容法通過測(cè)量微懸臂與一參考電極間的電容變化來檢測(cè)微懸臂產(chǎn)生的形變。