原子力顯微鏡（AFM）的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)主要包括以下幾個(gè)方面：
分辨率：這是衡量AFM性能的關(guān)鍵指標(biāo)，包括側(cè)向分辨率和垂直分辨率。側(cè)向分辨率主要受到采集圖像的步寬和針尖形狀的影響，而垂直分辨率則主要取決于針尖剛性和系統(tǒng)噪聲。
成像模式：AFM支持多種成像模式，如ScanAsyt（全自動(dòng)掃描模式）、Contact AFM（接觸模式）、Tapping mode（輕敲模式）以及LiftMode（抬高模式）。這些模式的選擇應(yīng)根據(jù)具體的實(shí)驗(yàn)需求和應(yīng)用來確定。
掃描范圍：X-Y向掃描范圍通常會(huì)在技術(shù)指標(biāo)中給出，例如12μm×12μm或90μm×90μm。這個(gè)范圍決定了AFM能夠掃描的樣品尺寸。
噪聲水平：噪聲水平是衡量AFM性能的一個(gè)重要參數(shù)，通常以RMS（均方根）值表示。低噪聲水平有助于提高成像質(zhì)量。
控制器和放大器：一些**的AFM可能會(huì)配備全數(shù)字鎖相放大器，提供定量相位成像功能，并可以直接實(shí)現(xiàn)縱向和橫向壓電響應(yīng)模式。
數(shù)據(jù)獲取和處理能力：例如，每條掃描線可獲得的數(shù)據(jù)點(diǎn)數(shù)量，以及是否具備數(shù)字Q控制功能來提高信噪比。
掃描器：AFM可能配備大掃描器和小掃描器，用于在不同的尺度上掃描樣品。
檢測(cè)器：例如，生物性原子力顯微鏡可能會(huì)使用紅外超發(fā)光二極管（SLD）進(jìn)行撓度檢測(cè)。
需要注意的是，不同的AFM可能會(huì)有不同的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和配置，用戶在選擇和使用時(shí)應(yīng)根據(jù)具體的應(yīng)用需求來確定*合適的參數(shù)和模式。