原子力顯微鏡作為一種具有原子級(jí)別高分辨率的表面分析儀器，能夠測試多個(gè)方面的參數(shù)。以下是AFM原子力顯微鏡具體可以測試的參數(shù)及其相關(guān)說明：
表面形貌：
AFM原子力顯微鏡可以獲取表面形貌的高分辨率圖像，包括表面起伏、溝壑、顆粒大小等特征。這對(duì)于研究表面微觀結(jié)構(gòu)、表面處理效果以及材料性能等方面具有重要意義。
分辨率方面，原子力顯微鏡通?？梢赃_(dá)到橫向1um x 1um清晰形貌圖，垂直方向分辨率為納米級(jí)別。
表面粗糙度：
AFM原子力顯微鏡可以測量表面粗糙度，即表面微小起伏和波紋的幅度和頻率。這有助于評(píng)估表面加工質(zhì)量、材料表面處理效果以及摩擦學(xué)等領(lǐng)域的研究。
粗糙度通?？梢酝ㄟ^Ra（表面平均粗糙度）、Rq（均方根粗糙度）和Rz（輪廓*大高度）等參數(shù)來表示。
材料力學(xué)性能：
原子力顯微鏡可以測量樣品的彈性，包括彈性模量和泊松比等參數(shù)。這對(duì)于研究材料力學(xué)性能、材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)以及納米尺度下的力學(xué)行為等方面具有重要意義。
電學(xué)性質(zhì)：
AFM原子力顯微鏡設(shè)備可以配備電導(dǎo)率分布（CAFM）等測試模塊，用于測量樣品的電導(dǎo)率分布和電疇等信息。
其他擴(kuò)展技術(shù)：
相圖模式：通過檢測驅(qū)動(dòng)微懸臂探針振動(dòng)的信號(hào)源的相位角與微懸臂探針實(shí)際振動(dòng)的相位角之差（即兩者的相移）的變化來成像。相圖模式可以提供關(guān)于樣品組分、硬度、粘彈性質(zhì)、模量等更多信息。
納米片厚度/臺(tái)階高度測量：原子力顯微鏡在垂直方向的高分辨率使其成為測量納米片厚度和臺(tái)階高度的有效工具。
工作模式：
AFM原子力顯微鏡具有多種工作模式，包括接觸模式、非接觸模式和間歇接觸模式（輕敲模式）。不同的工作模式適用于不同類型的樣品和測試需求。
綜上所述，原子力顯微鏡可以測試的參數(shù)涵蓋了表面形貌、表面粗糙度、材料力學(xué)性能、電學(xué)性質(zhì)等多個(gè)方面，并可以通過不同的工作模式來適應(yīng)不同的測試需求。